操作部分采用了躲避装置。利用空气吸附后，由载物台进行安装。由于不会压迫工件，因此可安装低强度工件。重复定位精度为±0.01mm ，X/Y轴的工作速度为800mm/秒。
由于能够根据工件形状，设计操作部分，因此可用于各种各样的作业。比如，粘贴薄膜和片状工件，插入针状部件等均可完成。（记者：松田 千穗）
- 作者： chinarobot 2005年04月29日, 星期五 07:36 加入博采
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